
关键信息总结:ASML开发混合键合设备,布局先进封装领域
核心事件:韩媒The Elec援引行业人士消息称,ASML正着手开发混合键合设备,以扩展先进封装设备业务;合作伙伴包括EUV光刻机磁悬浮系统组件供应商Prodrive及VDL-ETG(混合键合机台需此类结构)。
背景与战略:ASML传统技术重心为前端半导体制造设备(先进制程光刻机),但随着后端工艺发展,已将先进封装设备视为未来潜在增长点。其首席技术官Marco Pieters曾表示,企业将关注封装、键合领域的设备基座需求。
进展与计划:ASML已于2025年出货首款先进封装光刻机TWINSCAN XT:260,若混合键合产品落地,将进一步丰富其后端设备阵容。
合作方关联:Prodrive和VDL-ETG此前分别为ASML EUV光刻机磁悬浮系统组件供应商,因混合键合机台同样需此类结构,故成为此次合作方。
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信息来源:leyunetwork(3月16日报道,基于韩媒The Elec 3月13日消息)
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